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频率型压力传感器的工作原理与检测

电容式压力传感器是氧化铝膜片和底板相互接近排列而形成电容，利用因电容膜片的上下压力差而变化的性质，得到与压力成比例的电容值信号。 在传感器混合集成电路的振荡电路上连接电容，传感器产生可变频率的信号。输出频率与进气压成比例80. 120 Hz之间的变化。

表面声波式压力传感器是通过超声波法形成薄膜灵敏度区域，在其上刻设换能器(压敏saw延迟线)，组合换能器和电路的振荡器。换能器是在研磨的压电基板上设置2根金属指的结构，当对输入能量指t1施加电信号时，通过逆压电效应在基板的寿命面激励弹性表面波，传播到能量指t2，变换为电信号，放大后反馈到T1保持振荡。  表面弹性波( saw )的2根能量转换指之间的传播时间是得到的延迟时间，其大小取决于2根能量转换指之间的距离。由于导入的进气歧管的压力作用于压电基板，压力变化在薄膜感应区域产生变形，即使能量转换指间距发生变化。因此，表面弹性波传播的延迟时间相应地变化。这样，由于能够根据与延迟时间成反比振荡频率输出压力信号。