作为压电传感器主要使用的压电材料,有石英、酒石酸钾钠、磷酸二氢胺。其中,水晶(二氧化硅)是天然的结晶,虽然在该结晶中可以看到压电效应,但在一定的温度范围内存在压电特性,但是温度超过该范围时,压电特性完全消失(该高温是所谓居里点)。由于随应力变化的电场变化是微小的(即压电系数比较低),所以水晶逐渐被其他压电晶体取代。酒石酸钾钠的压电灵敏度和压电系数大,但只适用于室温和湿度低的环境。磷酸二氢胺是人工结晶,可承受高温、相当湿度,因此被广泛应用。
压电效应是压电传感器的主要动作原理,压电传感器不能用于静态测量,但外力作用后的电荷只有在电路具有无限大的输入阻抗时才能保持。实际上不是这样,所以压电传感器只能测量动态应力。
以往的传感器技术,为了提高其性能,制作材料需要满足多品种、高性能的要求,因此成本高,而且制作过程的要求严格。以往压力传感器无法进一步提高性能价格,在以下方面不充分。
由于结构尺寸大,所以时间(频率)响应特性差。
输入输出特性具有非线性,随着时间的推移。
容易受环境条件变化影响的参数
信噪比低,容易受到噪声干扰。
有交叉灵敏度,选择性分辨率不高。
这样不足是现有的压力传感器的性能稳定、可靠性差、精度低的主要原因,也是取代现有的压力传感器的主要原因。