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压力传感器的研究现状

1海外压力传感器技术的现状

传感器技术是现代测量和自动化技术的重要技术之一。从宇宙探索到海洋开发，从生产过程的控制到现代文明生活，几乎所有的现代科学技术都需要传感器。在工业、农业、防卫、科学技术等各种领域广泛应用传感器技术，显示了极其广阔的前景。在许多国家，传感器技术的发展受到重视。例如，日本传感器技术作为6个核心技术(计算机、通信、激光、半导体、超导、传感器)之一被列举，将传感器设为10个技术中的第1位，第2位的技术是6个核心技术(计算机、通信、激光、半导体、超导、传感器)。美国将90年代视为传感器时代，将传感器技术作为90年代22项的主要技术之一。

1994年世界传感器市场总交易额达到260亿美元，到2000年世界传感器市场规模每年增长7 %以上，其中高级传感器的放大率达到18 %以上，使用微机械加工技术和微系统技术等高科技制造的各类型的新型智能。从市场上的销售状况来看，压力传感器占第一位。使用硅材料的半导体传感器除了固体传感器的一般优点之外，还可以将集成电路的一部分与传感器组合构成集成化传感器。集成电路部制作微处理器时，会成为智能的传感器。迄今为止，高精度、高可靠性、小型化、低成本的智能传感器已成为世界传感器市场的主流。。

我国压力传感器技术的现状

虽然我国的传感器技术与发达国家的传感器技术相比还迟缓，但我国的传感器特性并不比海外的传感器特性优越。综合最近发表的文献，虽然国产半导体压力传感器的特性参数提高了，但以矩形双岛膜结构的6000 pa量程微压传感器特性为例，非线性为5×10-4 fs (全规模)滞后，再现性为5×10-4 fs以下，分辨率优于20pa。对于量程100 kpa的压力传感器，非线性滞后重复性均优于5×10-4 fs。 硅-蓝宝石、高温硅压力传感器工作温度分别为- 50~300℃、0~400℃。压敏元件的可靠性mttf达到了高水平。  零部件品种增加，测力传感器扩展，微压、应变计压力、高压、绝对压力、差压等感压元件及其组件登场。